• <optgroup id="w4oem"><noscript id="w4oem"></noscript></optgroup>
  • <noscript id="w4oem"></noscript>

    歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

    成都鑫南光機械設備有限公司

    二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

    立即咨詢

    24小時咨詢熱線:
    13908187709
    產品中心
    當前位置 當前位置:首頁 > 產品中心 > 光刻機

    G-31D6型高精密雙面光刻機

    G-31D6型高精密光刻機 產品介紹: 設備概述 本設備廣泛用于各大、中、小型企業、大專院校、科研單位,它主要用于中小規模集成電路…

    相關內容
    在線留言
    詳情內容
    content details


    G-31D6型高精密光刻機

    產品介紹:

    設備概述

    本設備廣泛用于各大、中、小型企業、大專院校、科研單位,它主要用于中小規模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產。

    主要構成

    本設備為板板對準雙面曝光

    主要由雙目視場CCD顯微顯示系統、二臺6"LED專用曝光頭、PLC電控系統、高精度對準工作臺、Z軸升降機構、真空管路系統、氣路系統、直聯式真空泵、二級防震工作臺等組成。

    29b116c7630c01ff3be74f629cfac7b








    曝光頭部件圖

    IMG_256






    CCD顯微系統|X、Y、Q對準工作臺

    主要功能特點


    1.適用范圍廣

    適用于150×150mm以下、厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準曝光,雙面可同時曝光,亦可用于單面曝光。


    2.結構

    Z軸采用滾珠直進式導軌和可實現硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機構,真空吸版,防粘片機構。

    3.操作簡便

    X\Y移動、Q轉、Z軸升降采用手動方式;吸版、反吹采用按鈕方式,操作、調試、維護、修理都非常簡便。

    4. 可靠性高

    采用進口(日本產)電磁閥、按鈕、定時器;采用獨特的氣動系統、真空管路系統和精密的機械零件,使本機運行具有非常高的可靠性。

    5. 特設功能

    除標準承片臺外,還可以為用戶定制專用承片臺,來解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準的問題

    主要技術指標

    1、曝光類型:版版對準雙面曝光

    2、曝光面積:150×150mm;

    3、曝光照度不均勻性:≤±3.5%;

    4、曝光強度:0~30mw/cm2可調;

    5、紫外光束角:≤3°;

    6、紫外光中心波長:365nm;

    7、紫外光源壽命:≥2萬小時;

    8、工作面溫度:≤30℃

    9、采用電子快門;

    10、曝光分辨率:1μm(曝光深度為線寬的10倍左右)

    11、曝光模式:雙面同時曝光

    12、對準范圍:X:±5mm Y:±5mm

    13、套刻精度:1μm

    14、旋轉范圍:Q向旋轉調節≤±5°

    15、顯微系統:雙視場CCD系統,物鏡1.6X~10X,計算機圖像處理系統,19″液晶監視器;

    16、掩模版尺寸:能真空吸附6"方形掩板,對版的厚度無特殊要求(1~3mm皆可)。

    17、基片尺寸:適用于Φ5"mm圓形基片(或3"×3"mm方形基片),基片厚度≤5mm。

    【全文完】

    標簽:

    在線留言

    LEAVE A MESSAGE

    鑫南光咨詢服務熱線:
    13908187709

    立即在線咨詢預約

    掃一掃有驚喜哦

    二維碼
    地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
    版權所有:

    成都鑫南光機械設備有限公司

    備案號:蜀ICP備12015633號-3

    網站地圖 RSS XML  
    聯系人:劉經理 電話:028-85730589     技術支持:  萬家燈火  
      全國服務熱線:15390063681  郵箱:x.n.g@163.com
    国产主播一区二区_国产美女露脸口爆吞精_国产高清无码在线观看_国产丰满熟女91pom
  • <optgroup id="w4oem"><noscript id="w4oem"></noscript></optgroup>
  • <noscript id="w4oem"></noscript>