四川光刻機之G-25XA型高精密光刻機的產品介紹：

一、 設備的主要用途及特點

本設備主要適用于對Φ100mm以下，厚度為5mm以下的各種基片光刻（包括非常規基片、碎片及表面不平整基片）

二、主要技術指標

1、對準精度：±0.5μm。

2、微動臺掃描范圍±20mm，X、Y可調范圍±4mm。

3、承片臺上下可移動范圍為5mm，改為旋轉角度≤90°。

4、采用多點光源曝光頭，光源采用GCQ350Z型高壓水銀直流汞，風冷，（光強穩定可調，不用頻繁更換汞燈），光的不均勻性≤±4%(Φ100 mm范圍之內) ，出射光束ΦMAX為Φ120mm。

5、采用雙目分離視場顯微鏡，放大倍數50X×375X(可采用雙CCD加液晶監視器來顯示，放大倍數30～189X或67.5X～420X)。

成都鑫南光機械設備有限公司是一家專業從事四川真空泵,四川光刻機,四川氫氣爐生產及銷售批發工作的企業,咨詢電話:13908187709,028-85730519,擁有專 業的技術裝備和獨特的設計,具有豐富的專用設備裝配調試技術和經驗。