• <optgroup id="w4oem"><noscript id="w4oem"></noscript></optgroup>
  • <noscript id="w4oem"></noscript>

    歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

    成都鑫南光機械設備有限公司

    二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

    立即咨詢

    24小時咨詢熱線:
    13908187709
    產品中心
    當前位置 當前位置:首頁 > 產品中心 > 光刻機

    成都精密光刻機

    成都精密光刻機的主要用途和主要性能指標:1、 主要用途:(1) 這是一臺雙面對準單面曝光的光刻機;(2) 這臺機器又能完成普通光…

    相關內容
    在線留言
    詳情內容
    content details

    成都精密光刻機


    成都精密光刻機的主要用途和主要性能指標:

    1、 主要用途:

    (1) 這是一臺雙面對準單面曝光的光刻機;

    (2) 這臺機器又能完成普通光刻機的任何工作;

    (3) 同時又是一臺檢查雙面對準精度的檢查儀。

    2、 主要性能指標:

    (1) 高均勻性蠅眼曝光頭。

    a、 采用350W直流球形汞燈;

    b、 出射光斑≤φ116mm;

    c、 光強≤15mw;

    d、 光的不均勻性≤±3%;

    e、 光強度可通過光闌或汞燈電流調節,3~15mw任意調節;

    f、 曝光時間采用0~999.9秒(日本OMRON生產)時間繼電器控制。

    g、 對準精度:±0.5μm

    h、 套刻精度:1μm

    (2) 觀察系統為上下各兩個無級變倍、高分辨率單筒顯微鏡上裝四個CCD攝像頭通過視屏線連接計算機到19″高清液晶顯視屏上。

    a、 單筒顯微鏡為0.7X~4.5X連續變倍顯微鏡;

    b、 CCD攝像機靶面對角線尺寸為:1/3″,6mm;

    c、 采用19″液晶監視器,其數字放大倍率為17×25.4/6=72倍;

    d、 觀察系統放大倍數為:0.7×72=50.4倍(*小倍數)

    4.5×72=324倍(*大倍數);

    e、右表板上有一視屏轉換開關:向左為下二個CCD,向右為上二個CCD。

    (3)計算機硬軟件系統:

    a、鼠標單擊“開始對準”,能將監視屏上的圖形記憶下來,并處理成透明的,以便對新進入的圖形進行對準;

    b、鼠標雙擊左面或右面圖形,就分別全屏顯示左或右面圖形。

    (4)非常特殊的板架裝置:

    a、該裝置能分別裝入100×100板架或125×125板架,對版進行真空吸附;

    b、該裝置安裝在機座上,能圍繞A點作翻轉運動,相對于承片臺而言作上下翻轉運動,以便于上下版和上下片;

    c、該裝置來回反復翻轉,回到承片臺上平面的位置,重復精度為≤±1.5μ;

    d、該裝置具有補償基片楔形誤差之功能,**版下平面與片上平面之良好接觸,以便提高曝光質量。

    (5)承片臺調整裝置:

    a、 配備有Φ75、Φ100承片臺各一個,這二種承片臺有二個長方孔,下面二個CCD通過該孔能觀察到版或片的下平面;

    b、 承片臺能作X、Y、Z、θ運動,X、Y、Z可作±5mm運動,θ運動為±5°;

    c、 承片臺密著環相對于版,能實現“真空密著”:

    真空密著力≤-0.05Mpa為硬接觸;

    真空密著力≤-0.05Mpa~-0.02Mpa為軟接觸;

    真空密著力≤-0.02Mpa為微力接觸;

    四川精密光刻機

    還有更多關于成都精密光刻機的信息請持續關注鑫南光官網信息更新。


    在線留言

    LEAVE A MESSAGE

    鑫南光咨詢服務熱線:
    13908187709

    立即在線咨詢預約

    掃一掃有驚喜哦

    二維碼
    地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
    版權所有:

    成都鑫南光機械設備有限公司

    備案號:蜀ICP備12015633號-3

    網站地圖 RSS XML  
    聯系人:劉經理 電話:028-85730589     技術支持:  萬家燈火  
      全國服務熱線:15390063681  郵箱:x.n.g@163.com
    国产主播一区二区_国产美女露脸口爆吞精_国产高清无码在线观看_国产丰满熟女91pom
  • <optgroup id="w4oem"><noscript id="w4oem"></noscript></optgroup>
  • <noscript id="w4oem"></noscript>